Trichlorsilan ist eine brennbare, ätzende Flüssigkeit und Dampf. Unter Umgebungsbedingungen, ist dies eine farblose Flüssigkeit mit einer irritierenden, stechenden Geruch. Trichlorsilan wird heftig mit Wasser reagieren und explosive Gemische bilden in der Luft. Kontakt mit Wasser oder feuchter Luft setzt reizendes Gas. Das Einatmen von geringen Dampfkonzentrationen wird die Nase, Hals und Brust reizen, was zu Beschwerden oder Schmerzen mit Husten, überschüssige Sputum, laufende Nase und Atembeschwerden. Das Einatmen von Trichlorsilan bei höheren Konzentrationen kann zu Verletzungen an den Nasengänge, des Kehlkopfes und der Lunge führen. Kurze Berührung mit der Haut Juckreiz oder Beschwerden verursachen, während anhaltende Kontakt wird in Schmerzen, Rötung, Schwellung, Geschwürbildung und mögliche Blutungen führen. Trichlorsilan ist sehr streng zu giftig und kann schwere Verätzungen im Mund, Rachen, Speiseröhre und Magen verursachen. Wiederholte oder chronische lange Aussetzung kann sich verfärben oder erodieren die Zähne, verursachen die Nase und Zahnfleisch zu bluten und eitern die Nasen mucosa.

Angaben zum Transport

Versandbezeichnung	Gefahrklasse	Etikette
Trichlorsilan	4,3 (3) (8)	Dangerous When Wet, Entzündliche Flüssigkeit, ätzend

Formel	Allgemeine Beschreibung
SiHCl3	Farblose, ätzende, brennbare Flüssigkeit mit einem reizenden, stechenden Geruch.

Produkt- und Verpackungsinformationen

Produkt-Grad	Qualität Assay / Spezifikation	Inhalt
3,5 Semiconductor Prozessgas-	99,95% Bor & lt; 0,1 ppb / a Kohlenstoff & lt; 5 ppb / a Spender (AS + P) & lt; 0,8 ppb / a Iron & lt; 50 ppb / a Andere Chlorsilane & lt; 500 ppm / w Der spezifische Widerstand ≥ 300 Ohm-cm	550 L B275 lb £ 90
3.0 Semiconductor Prozessgas-	99,9% Bor & lt; 0,1 ppb / a Kohlenstoff & lt; 50 ppm / a Spender (AS + P) & lt; 1 ppb / a Andere Chlorsilane & lt; 1.000 ppm / w Der spezifische Widerstand & gt; 300 Ohm-cm	550 L B275 lb £ 90

Trichlorsilan

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Trichlorsilan für gereinigtes Polysiliciumproduktion

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