トリクロロシランは、可燃性、腐食性の液体および蒸気です。周囲条件下で、これは刺激性、窒息臭を有する無色の液体です。トリクロロシランは水と激しく反応し、空気中の爆発性混合物を形成することになります。水または湿った空気と接触すると、刺激性のガスを発生します。低蒸気濃度を吸入すると、呼吸と咳、痰過剰、鼻水や難しさと不快感や痛みを引き起こし、鼻、喉、胸を刺激します。高濃度でトリクロロシランを吸入すると鼻腔、喉頭および肺の損傷になることがあります。持続的な接触が痛み、発赤、腫脹、潰瘍および可能な出血になりながら肌との短時間の接触は、かゆみや不快感の原因となります。トリクロロシランは非常に深刻な毒性があり、口、喉、食道、胃の重度の火傷を引き起こす可能性があります。反復または慢性露出オーバーは変色や歯を侵食する、出血、鼻や歯茎を引き起こし、鼻mucosa.
潰瘍あり
交通情報
発送商品名
| 危険クラス
| ラベル
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トリクロロシラン
| 4.3(3)(8)
| 危険なウェット、引火性液体、腐食性
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式
| 一般的な説明
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SiHCl3
| 刺激性、窒息臭を有する無色、腐食性、可燃性の液体。
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製品およびパッケージ情報
製品グレード
| 品質検定/仕様
| コンテンツ
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3.5半導体プロセスガス
| 99.95% ホウ素< 0.1 ppbの/ a カーボン< 5 PPB / a ドナー(+ P AS)< 0.8 PPB / a アイアン< 50 ppbの/ a その他のクロロシラン< 500 ppmの/ w 抵抗率≥300オーム-cm
| 550 L B275 lb 90ポンド
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3.0半導体プロセスガス
| 99.9% ホウ素< 0.1 ppbの/ a カーボン< 50 PPM / a ドナー(+ P AS)< 1 PPB / a その他のクロロシラン< 1,000ppmの/ w 抵抗率> 300オームセンチ
| 550 L B275 lb 90ポンド
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トリクロロシラン